科学资讯 | 成立仅半年 上海芯上微装第500台步进光刻机交付

发布时间:2025-08-10 10:33:17阅读:2
快科技8月10日消息,日前,上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”)宣布,其第500台步进光刻机成功交付,标志着我国高端半导体装备产业迈入新阶段。据了解,先进封装光刻机是芯上微装的核心产品,具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等特点,还拥有强大的翘曲和厚胶处理能力,可根据客户具体工艺需求灵活配置设备。

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