科学资讯 | 用上30亿一台的EUV光刻机 Intel对14A仍有信心：没客户的可能不大
快科技9月7日消息，Intel公司今年将量产18A工艺，这是他们四年五代工艺中的关键一环，而且该工艺会持续改进，一直用到2030年。18A下一代工艺就是14A了，这一代还会用上High NA EUV光刻机，也就是ASML公司的Twinscan NXE:5000系列，NA提升到0.55，分辨率更高，是2nm节点以下的关键设备。
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