科学资讯 | 全国首个MOR核心技术 国产EUV光刻胶启动

发布时间:2025-09-08 21:33:27阅读:0
快科技9月8日消息,EUV光刻机是制造5nm以下工艺的关键设备,同样重要的还有EUV光刻胶,现在无锡宣布国内首个掌握EUV光刻胶核心技术的平台启动了。

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